直線電機運動控制技術在晶圓檢測系統中的應用

博智達機器人直線電機技術已大量應用于半導體業所需的最先進運動系統。如果精度等級需要達到亞微米級，位置穩定性需要納米級，必須用最先進的技術。 對這樣的要求，任何部件缺陷都將影響整機性能。正因為此，博智達機器人為用戶提供全套運動系統平臺，它具有最高質量的部件和最好的機械結構設計技術。在晶圓檢測工具中，需要極高的精度和極高產能。
為滿足高標準應用要求，博智達機器人采用LSM直線電機以及其特有功能滿足這種高科技行業要求。最終，這些重要部件成為實現最高性能機械系統的組成部分。
例如， 右圖中的滑臺在刀具位置的加速度達到1g，運動速度1m/s， 精度1.5微米， 重復精度200納米。使用一體化的電機，控制單元，位置測量系統和機械設計，實現亞納米級短行程定位運動。
AOI / 貼片機
 

在大部分微電子器件生產中都需要進行無損檢測。這種檢測用于確保產品功能和可靠性。由于是在線檢測，因此速度必須快，精度必須高，確保生產線產
能不受品質控制程序的影響。
根據被測產品類型，從無源器件到復雜IC，需要用不同的檢測技術，例如光學檢測，X射線檢測或超聲檢測,博智達機器人產品在2D和3D自動光學檢測（AOI）設備中有廣泛應用，由直線電機技術構成的全套運動系統帶給用戶高精度和最高產能。
檢測設備中，為達到最高性能，通常兩個重要系統必須保持同步：運動平臺和檢測系統本身。由于HANS能夠提供帶運動控制單元的完整運動平臺系統，確保了檢測設備的關鍵運動技術要求。這使OEM公司能夠專注于其在檢測系統、缺陷識別軟件等方面的核心競爭力，同時所需精度，重復精度和產能由經驗豐富的運動系統供應商—博智達機器人公司保證。