“伺服電機+滾珠絲杠”VS“直線電機”應用于線性精密平臺

線性精密平臺
線性精密平臺也叫直線電機平臺、精密定位滑臺。主要應用于工裝夾取。移載、定位，自動化工作站，半導體設備、TFT-LCD液晶面板設備，太陽能設備，LED線上設備，機械內部XYZ軸工作平臺、點膠、鎖螺絲、視覺檢測、量測設備等，高速高精度場所。
 
隨著半導體光刻技術、微型機械、精密測量、超精密加工、微裝配和納米技術的迅速發展，對精密定位系統的行程、速度和精度等提出了越來越高的要求， 其控制精度在微米級，甚至納米級的范圍內。
精密運動系統是集精密位置檢測技術、驅動技術、直線導向技術、控制技術為一體的有機綜合體。其中，驅動控制技術直接決定了平臺的速度、精度、行程和整個系統的效率。
直線電機在線性精密平臺上的應用
在傳統的定位技術中，常選用“伺服電機+滾珠絲杠”的方式，由于具有運動轉換環節，不可避免地存在間隙誤差，雖然經過預緊后可實現良好的傳動精度，但使其達到精度代價不菲。
直線電機作為超聲電機中的一類，利用壓電元件的逆壓電效應和彈性體的超聲振動，通過定子和動子之間的摩擦作用，把彈性體的微幅振動轉換成動子宏觀的直線運動。
直線電機不僅能夠直接產生直線運動和牽引力，而且具有結構簡單、響應快、斷電自鎖、不受電磁干擾等特點，同時具有較大的行程以及精確的位移分辨率。
利用直線電機驅動的平臺，具有傳動鏈短、行程大、定位精度高、響應速度快等優點，使其逐漸成為精密驅動領域的理想驅動器。
 
利用直線電機驅動的精密平臺
直線電機在工業上的應用
在工業應用方面，多家公司已有多款相機聚焦鏡頭應用了超聲電機，使得相機聚焦系統結構簡單，聚焦快，噪聲小。